MEMS惯性传感器

　　MEMS惯性传感器使用半导体制造工艺来生产尺寸范围从小于一微米到几毫米的小型机械和机电元件。与实现相同功能的早期方法相比，MEMS传感器体积更小，成本更低，功耗更低，灵敏度和精度更高。 MEMS器件还受益于半导体工艺技术固有的严格公差，因而它们具有极好的精度和可重复性。