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赛微电子北京8英寸MEMS国际代工线启动量产!


  2021年6月10日,北京赛微电子股份有限公司与国家集成电路产业投资基金共同投资的赛莱克斯微系统科技(北京)有限公司“8英寸MEMS国际代工线”(北京FAB3)正式启动量产,赛微电子董事长、总经理杨云春博士赴北京FAB3见证并向工程师团队表示祝贺。

董事长杨云春手持北京FAB3生产的8英寸MEMS硅麦晶圆

  北京FAB3成功量产的首款芯片为来自通用微科技有限公司(GMEMS)的MEMS麦克风芯片,该型芯片具有高信噪比、高AOP特征,与其在瑞典FAB代工的同型号芯片性能一致;基于该芯片封装的MEMS麦克风性能优异,与楼氏电子、英飞凌等国际知名传感器公司的同类产品相当。经过通用微科技进行的严格晶圆级性能测试以及对MEMS麦克风进行的性能检测和可靠性验证,确认成品性能达到设计指标要求,与基于瑞典FAB所代工芯片封装的MEMS麦克风的关键性能一致。同时FAB3制造的该首批晶圆良率与瑞典FAB1&2处于同一水平,开始进行批量商业化生产。

显微镜下的GMEMS硅麦克风芯片实物(1.05*1.05毫米)

  通用微科技是一家全球领先的MEMS传感芯片供应商,其技术团队由国内声学MEMS传感器的开拓者王云龙博士领衔,扎根声学MEMS近二十年。通用微聚集了在声学处理算法和传感芯片方面的世界顶尖的专家,将声学微型传感器的研发与基于人工智能的算法及软件相结合,从声学原理入手,融合了MEMS传感芯片、算法、及数字信号处理器或微处理器,打通了从传感芯片到模组的全产业链,解决了语音交互中的唤醒、低功耗待机、鸡尾酒会效应等核心难题。本次GMEMS研发的MEMS芯片首次在国内实现量产,为其建立完整的国内供应链体系填补了最关键和最重要的一环。

显微镜下的GMEMS硅麦克风实物(2.75x1.85x0.98毫米)

  近年来,在复杂的国际政治经济环境下,小小芯片牵动了亿万同胞的心;不仅引发了全国性的讨论与反思热潮,唤醒全社会对科学与工匠精神的尊重与推崇,更是激励着一批又一批中华儿女投身半导体产业,一步一个脚印,持续为攻破该卡脖子领域而艰苦奋斗。在众多忙碌努力的身影中,赛微电子正是默默耕耘、步步进阶的其中一员。

  2015年5月,赛微电子实现创业板IPO上市;同年8月,公司启动收购瑞典Silex。

  2016年7月,赛微电子完成收购瑞典Silex;同年11月,公司启动定增,与国家大基金合资在北京投建FAB3产线。

  2017年9月,赛微电子通过委托贷款融资7亿元,全部投入FAB3产线建设(后于2019年5月归还)。

  2019年2月,赛微电子完成定增融资12.07亿元,全部投入FAB3产线建设。

  2019年12月,赛微电子北京FAB3搬入首台设备。

  2020年9月,赛微电子北京FAB3建成通线。

  2021年6月,赛微电子北京FAB3完成竣工验收、正式启动量产。

  艰难困苦,玉汝于成。成功的路上没有捷径。从一片荒地到一座拔地而起的崭新工厂,凭借着“胜人者有力,自胜者强”的信念,赛微电子克服了人才、技术、工艺、设备、研发、管理、资金等各方面困难,终于梦想成真。当然从构想到现实,离不开公司全体股东的大力支持,离不开公司合作伙伴的坚定信任,离不开公司全体员工的不懈努力;同时也离不开中央政府、北京市和经开区各级领导、各级部门、各基层单位对赛微电子及赛莱克斯北京的倾力支持。

  杨云春董事长曾感慨道:2020年开始爆发的新冠疫情,在党和政府强有力的防控和治理下,已得到有效控制,取得了令世界瞩目的成就,为世界树立了榜样,国人都带着发自内心的骄傲和自豪。然而在半导体行业方面,尤其是关键技术和关键设备制造方面,我国还处处受制于人。不禁要问,这是一个什么样的时代?这是一个我们的半导体产业被“卡脖子”的时代;这是一个国内半导体产业遍地开花、群雄逐鹿的时代;这是一个机遇与挑战并存,充满着无限可能性的时代。我们的产品、技术和工艺是没有国界的;我们改革开放、走国际化道路的方向不会改变;我们与全球优秀的企业和团队进行合作、一起服务于人类命运共同体的决心不会动摇。我们需要保持定力,做好自己的事,快速迭代,缩小差距,服务于行业、服务于全社会、服务于全人类。

  赛微电子以半导体业务为核心,面向高频通信背景下的物联网与人工智能时代,一方面重点发展MEMS工艺开发与晶圆制造业务,一方面积极布局GaN材料与器件业务,致力于成为一家立足本土、国际化发展的知名半导体科技企业集团。

  基于对全球市场需求前景及国内产业链状况的判断,在2016年全资收购瑞典Silex之后,赛微电子积极引入国家集成电路产业基金,通过自主建立国内生产线的方式,对国际领先技术进行消化吸收,经过对照式研发与生产,培养一流的综合性MEMS工程团队,打造全球技术领先的MEMS生产线及产业化平台,进一歩建立行业技术壁垒,提升公司核心竞争力。

北京8英寸MEMS国际代工线设计效果图

  本次北京FAB3实现量产,让赛微电子同时在瑞典斯德哥尔摩和中国北京两地拥有业界先进、高质量运营的8英寸MEMS产线,同时北京FAB3更是可以提供标准化的规模产能,有利于公司进一步拓展全球市场尤其是亚洲市场,结合先进工艺与规模产能,更好地为下游客户服务,同时继续扩大公司MEMS业务的竞争优势,继续保持在MEMS纯代工领域的全球领先地位。

  赛微电子北京8英寸MEMS国际代工线正式量产,是赛微电子过去长达六年努力奋斗所实现的重要里程碑,同时更是赛微电子从MEMS“精品工厂”向“量产工厂”的关键转折与起点。赛微电子欢迎与全球尤其是中国本土各领域MEMS设计厂商开展合作,为中国MEMS产业的独立自主发展贡献一份自己的力量。

北京8英寸MEMS国际代工线建成实景图

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