赛微电子：代工MEMS微镜，开辟汽车传感新领域

   2022年4月，北京赛微电子股份有限公司（以下简称“公司”）控股子公司赛莱克斯微系统科技（北京）有限公司（以下简称“赛莱克斯北京”）与某国际知名激光雷达厂商及其子公司（以下简称“合作客户”）签署《战略合作框架协议》，开展面向汽车雷达MEMS微镜产品的长期战略合作，各方将开展全面技术合作，赛莱克斯北京将依据合作客户提供的工艺需求，致力于建立并维护MEMS微镜产品的8英寸晶圆量产生产线，并按合作客户产能需求提供配套的、稳定的产能。

MEMS微镜结构示意

   MEMS微镜（也被称为“MEMS微振镜”、“MEMS扫描镜”）是指采用光学MEMS技术制造的，把微光反射镜与MEMS驱动器集成在一起的光学MEMS器件。MEMS微镜的运动方式包括平动和扭转两种机械运动。近年来，随着智能化、电动化、网联化的加速发展，汽车传感器市场持续扩大，且基于MEMS等半导体制造工艺生产的先进传感器正在逐步替代部分传统类型传感器。以汽车自动驾驶功能为例，激光雷达是其中用到的众多传感器之一，按照激光扫描方式可以分为机械、混合和固态三种类型。随着自动驾驶技术的不断发展，小型化、低成本、高精度、固态化激光雷达逐渐出现并得到应用。MEMS激光雷达的核心光束操纵元件为MEMS微镜，可通过半导体工艺进行集成化生产，极大地减少了激光雷达的体积且降低了成本，在车规级批量应用中存在优势。

MEMS微镜应用示意

   该合作客户在智能激光雷达系统方面的技术及业务积累国际领先，相关产品已广泛应用于机器人和汽车领域，且已进入车载前装市场，涉及几十余款车型。

   本次与该客户的战略合作，是赛微电子积极与全球各领域MEMS设计厂商开展合作的一个缩影，也是作为全球晶圆代工生产新势力在长期发展过程中的必经阶段，其中从工艺开发到产品验证、批量生产均存在各种挑战，需要合作各方的共同努力。

赛微电子全球业务布局

   赛微电子是全球领先、国际化运营的高端集成电路晶圆代工生产商，也是国内拥有自主知识产权和掌握核心半导体制造技术的特色工艺专业晶圆制造商。公司在国内外拥有多座中试平台及量产工厂，业务遍及全球，服务客户包括国际知名的DNA/RNA测序仪、光刻机、计算机网络及系统、硅光子、红外、可穿戴设备、新型医疗设备、汽车电子等巨头厂商以及细分行业的领先企业，涉及产品范围覆盖了通讯、生物医疗、工业汽车、消费电子等诸多领域。公司同时正在打造先进的晶圆级封装测试能力，致力于为客户提供从工艺开发、晶圆制造到封装测试的系统化高端制造服务，努力发展成一家国际化经营的知名半导体制造领军企业。

   赛微电子正努力把核心主业传感器和芯片工艺制造的业务范围向汽车电子领域拓展，包括正在推进收购德国 Elmos Semiconductor SE位于德国北莱茵威斯特法伦州多特蒙德市（Dortmund, North Rhine Westphalia, Germany）的汽车芯片制造产线相关资产，该交易目前正在申请德国政府的批准。

   本次赛莱克斯北京与该合作客户开展战略合作，是赛微电子代工产业布局中的重要一步，有利于赛微电子积极把握全球半导体特色工艺制造产业，尤其是全球汽车芯片、MEMS芯片制造需求快速增长的发展机遇，从而促进核心业务的进一步发展。

赛莱克斯北京8英寸MEMS国际代工线

   赛莱克斯微系统科技（北京）有限公司成立于2015年12月，由赛微电子与国家集成电路产业基金共同出资建立，投资25.97亿元在北京经济技术开发区建设8英寸MEMS国际代工线，历经数年准备后于2021年6月启动正式生产，后持续推动MEMS硅麦克风、惯性器件、BAW（含FBAR）滤波器、振镜、气体、微流控、硅扬声器等不同类别、不同型号产品的工艺开发及产品验证。近年来，赛莱克斯北京持续吸引国内外的行业专家、技术人才，在不利的国际环境下，通过艰苦奋斗，打造了一支拥有自主知识产权和掌握MEMS核心技术的工艺团队，为下游尤其是国内MEMS芯片设计公司提供业界领先、自主可控的晶圆制造平台，目标是通过长期努力，致力解决本土MEMS产业链中的关键环节。